プラズマクリーナーの仕組みと需要

プラズマクリーナーとは、製品の表面に付着した油膜や汚れをプラズマによってきれいに取り除くという装置です。プラズマクリーナーには、主に「アルガンガス」を利用したRIEモードと主に「酸素ガス」を利用したDPモードの2種類あります。RIEモードは、減圧した容器にアルゴ原子を入れて電極間に高周波電力を加えアルゴンイオンと電子に分離します。イオンも電子も下部にある電極に到達しますが、電子の方が軽いので早く着いてイオンシースーを発生させてクリーニングをしたい対象物にぶつかって無機物や有機物を吹き飛ばします。

DPモードは、化学反応を利用して容器内の対象物をクリーニングするというものです。減圧された容器に酸素ガスを入れて高周波電力を加えることで電離し、酸素原子が対象物の表面に付着する有機化合物と反応して水や二酸化炭素となって排出されるという仕組みになっています。ドライ洗浄ともいわれていて、製品に付着した汚れなどを洗剤や水をつけて洗うのではなく乾燥した状態のままきれいにすることができる装置です。半導体や電子機器を製造する過程、医療器具やチューブなどの洗浄に用いられる方法です。

スマホなどに搭載する半導体や電子部品はどんどん小型化されたり、1つの場所に集中したりしているのでプラズマクリーナーはさらに高度なものが要求されている昨今です。水に濡らさなくても洗浄できるので、今後さらに高精度なプラズマクリーナーの需要が増えることが予想されます。

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