プラズマクリーナーが必要とされる理由について

プラズマクリーナーは精密機器の品質だけでなく生産性も大幅に向上させるため、多くの工場で必要とされています。この装置を使いこなすには知識と経験が必要になりますが、上手く使えば短時間で精密機器に付着した汚れを取り除くことができます。電子機器や半導体などを製造する過程では、有機物や無機物による様々な汚れが発生して品質劣化の原因になります。高品質な製品を製造するためには、何度も洗浄作業を行って汚れを取り除かなければなりません。

アンモニアや塩酸などの薬液を使用する場合、対象物を浸したりスプレー状にして吹きかける方法があります。薬液を使用する方法はウェット洗浄と呼ばれており、難易度が低く簡単に行うことができます。しかし高価な超純水を使用するだけでなく、最後にリンスで薬液を洗い流して乾燥させなければなりません。ウェット洗浄は1回あたりの作業にコストと時間がかかるという問題があります。

プラズマクリーナーはドライ洗浄を行うので、コストや時間をかけずに汚れを取り除くことができます。この装置には主にアルゴンガスを使うタイプと酸素ガスを使うタイプが存在します。前者はRIEモードと呼ばれており、加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させます。アルゴンイオンを使って物理的に汚れを除去するのがこのタイプの大きな特徴です。

後者はDPモードと呼ばれており、酸素原子が化学反応によって有機物を水分子と二酸化炭素に変えます。プラズマクリーナーには2種類の処理方式があり対象となる汚れも異なります。製造業の現場では、発生する汚れの種類に応じてこれらのプラズマクリーナーが使い分けられています。

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