プラズマクリーナーはコストパフォーマンスが優秀です

プラズマクリーナーはドライ洗浄を行うので高価な薬液を使用しません。リンスで薬液を洗い流して乾燥させる必要もなく、精密機器に付着した細かな汚れを効率的に取り除くことができます。電子機器やレンズ、半導体などの精密機器は製造過程において有機物や無機物による細かな汚れが発生します。アンモニアや塩酸など薬液を使用するウェット洗浄はドライ洗浄よりも手軽に行うことができますが、時間やコストがかかってしまいます。

精密機器を製造する企業は品質だけでなく生産性も考慮する必要があります。ウェット洗浄はリンスで薬液を洗い流さなければならず高価な超純水を使用します。精密機器は完成までに何度も洗浄作業を繰り返すため、ウェット洗浄は品質を向上させることができますが、生産性の向上やコスト削減はできません。プラズマクリーナーはドライ洗浄によって素早く汚れを取り除くことができます。

この装置はコストを抑えつつ品質と生産性の両方を向上させるというメリットがあります。コストパフォーマンスを重視する多くの企業が、高品質な精密機器を効率的に生産するためプラズマクリーナーを導入しています。プラズマクリーナーには主にアルゴンガスを導入するタイプと酸素ガスを導入するタイプがあります。いずれも減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力で電極間に印加してプラズマを発生させる点は同じです。

前者はアルゴンイオンを加速して有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばし、後者は酸素原子が化学反応で有機物を二酸化炭素や水分子に変えるという違いがあります。

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